Tarkkuus CNC-työstöjärjestelmä eroaa tavallisesta hiomakoneesta, erityisesti työkappale ei pyöri, hiontaliike ja pyöreä leikkausliike täydentyvät hiomapään kierroksella ja pyörimisellä, ja ylös- ja alasleikkausliike täydentyy hiomapään holkin ylös ja alas vedot. Hiomapää on komponentti, joka suorittaa koordinaattihiomakoneen hiomaliikkeen pääliikkeen. Hiomapäitä on kahdenlaisia: korkeataajuinen sähköinen hiomapää ja ilmaturbiinin hiomapää.
Tällä hetkellä tarkkuus-CNC-työstöllä on tarkoitus saavuttaa erittäin tarkka koneistus, jota ei voida saavuttaa olemassa olevilla tavallisilla tarkkuustyöstömenetelmillä. Määrältään sen on tarkoitus käsitellä submikronin tai jopa nanometrin mittakaavan muotoa ja kokoa ja saada nanometrin mittakaavan pinnan karheus. Kuitenkin se, kuinka paljon tarkkuusarvoa voidaan laskea ultratarkkuustyöstöksi, riippuu osien koosta, monimutkaisuudesta ja helposta muodonmuutoksesta.
