Mikrotyöstötekniikka on erittäin joustava prosessi, jolla voidaan tuottaa monimutkaisia muotoisia mikrokomponentteja. Lisäksi sitä voidaan soveltaa monenlaisiin materiaaleihin. Sen soveltuvuus tekee siitä erityisen sopivan nopeaan käyttöön ideasta prototyyppiin, monimutkaisten 3D-rakenteiden valmistukseen sekä iteratiiviseen tuotesuunnitteluun ja -kehitykseen,
1. Fyysinen mikrotyöstötekniikka
Lasersäteen käsittely: prosessointiprosessi, jossa lasersäteen ohjaama lämpöenergia poistaa materiaaleja metallisilta tai ei-metallisilta pinnoilta. Se sopii paremmin hauraille materiaaleille, joilla on alhainen johtavuus, mutta sitä voidaan käyttää useimpiin materiaaleihin.
Ionisädekäsittely: tärkeä epätavallinen valmistustekniikka mikro-/nanovalmistukseen. Se käyttää tyhjiökammion kiihdytettyä ionivirtausta atomien poistamiseen, lisäämiseen tai muokkaamiseen kohteen pinnalla.
2. Kemiallinen mikrotyöstötekniikka
Reaktiivinen ionisyövytys (RIE): plasmaprosessi, jossa aineet viritetään RF-purkauksella syövyttämään substraatteja tai kalvoja pienjännitekammiossa. Se on kemiallisten aktiivisten aineiden ja korkean energian ionipommituksen synergistinen prosessi.
Sähkökemiallinen koneistus (ECM): menetelmä metallien poistamiseksi sähkökemiallisilla prosesseilla. Sitä käytetään yleensä erittäin kovien tai perinteisillä menetelmillä vaikeasti prosessoitavien materiaalien laajamittaiseen tuotantoon ja käsittelyyn. Sen käyttö on rajoitettu johtaviin materiaaleihin. ECM voi leikata pieniä tai epäsäännöllisiä kulmia, monimutkaisia muotoja tai onteloita koviin ja harvinaisiin metalleihin.
3. Mekaaninen mikrotyöstötekniikka
Timanttisorvaus: prosessi, jossa sorvataan tai työstetään tarkkuuskomponentteja sorvilla tai johdannaiskoneella, joka on varustettu luonnollisella tai synteettisellä timanttiterällä.
Timanttijyrsintä: leikkausprosessi, jolla voidaan luoda asfäärinen linssiryhmä pyöreällä leikkaamalla pallomaisella timanttityökalulla.
Tarkkuushionta: hiontatyöstö, joka mahdollistaa työstettävän kappaleen hienon pinnan ja erittäin pienen toleranssin 0,0001 ".
Kiillotus: hiomakäsittely, argonionisuihkukiillotus on melko vakaa prosessi, jota käytetään teleskooppipeilien viimeistelyyn ja mekaanisen kiillotuksen tai timanttisorvauksen optisten laitteiden jäännösvirheiden korjaamiseen. MRF-prosessi on ensimmäinen deterministinen kiillotusprosessi. Kaupallinen ja käytetty asfääristen linssien, heijastimien jne.
