Tarkkuusosien käsittelyssä ei ole mahdollista suorittaa kaikkea pintakäsittelyn sisältöä yhdessä prosessissa, koko tarkkuusosien käsittelyprosessi voidaan jakaa seuraaviin vaiheisiin.
1, rouhintavaihe. Leikkaa suurin osa jokaisen työstöpinnan työstövarasta ja työstö pois hienoreferenssistä, tärkeintä on lisätä tuottavuutta mahdollisimman paljon.
2, Puoliviimeistelyvaihe. Leikkaa karkeakoneistuksen jälkeen syntyneet viat pois ja valmistaudu pinnan viimeistelyyn, joka vaatii tiettyä koneistustarkkuutta ja varmistaa asianmukaisen viimeistelymarginaalin, samalla kun viimeistellään toissijaisen pinnan työstö.
3, viimeistelyvaihe. Tässä vaiheessa suuren leikkausnopeuden, pienen syötön ja leikkaussyvyyden käyttö poista edellisen prosessin jättämä viimeistelymarginaali, jotta osan pinta täyttää piirustuksen tekniset vaatimukset.
4, kevyt viimeistelyvaihe. Käytetään pääasiassa vähentämään pinnan karheusarvoa tai vahvistamaan työstöpintaa, pääasiassa pinnan karheusvaatimukset ovat erittäin korkeat (ra Alle tai yhtä suuri kuin 0.32μm) pintakäsittely.
5, erittäin tarkka työstövaihe. Koneistustarkkuus 0.1-0.01 μm, pinnan karheusarvo ra Pienempi tai yhtä suuri kuin 0,001 μm käsittelyvaihe. Tärkeimmät käsittelymenetelmät ovat: tarkkuusleikkaus, hieno peilihionta, tarkkuushionta ja kiillotus jne.